华国最开始研究光刻机，是在七十年代就已经开始了，最初是让南金大学的1445研究所进行研究。
七十年代的时候，华国就已经意识到了光刻机的重要性，并且快速开始研究光刻机，1982年科学院109厂的KHA-75-1光刻机，这些光刻机在当时的水平均不低，最保守估计跟当时最先进的canon相比最多也就不到4年。
1985年，机电部45所研制出了分步光刻机样机，通过电子部技术鉴定，认为达到米国4800DSW的水平，这应当是华国第一台分步投影式光刻机，采用的是436纳米G线光源。按照这个时间节点算，华国在分步光刻机上与国外的差距不超过7年。
从历史上回顾，华国的半导体产业发展其实非常不错，五十年代就已经把头给开好了，接下来，只需要按部就班，慢慢发展，未来半导体和电子产业华国肯定也是龙头之一。
那个时候的华国，半导体产业仅次于米国。
老一辈的科研人员奉献了自己的青春，造就了华国的半导体产业。那时候华国的半导体产业虽然没有超越当时世界最先水平，但是差距并不大。更重要的是，打造了从单晶制备、设备制造、集成电路制造的全产业链，基本不依赖国外进口，也就是说，华国以一国的供应链去追赶整个西方发达国家联盟的供应链。要知道，当时英特尔也是用的霓虹的光刻机。
然而，为什么华国的光刻机技术没有发展起来？
现在，华国使用的光刻机是193nm的氟化氩激光光刻技术，而这个时候远在大洋彼岸的荷兰，已经开发出了euv光刻技术，采用的是13nm的极紫外光技术。
这种技术，华国最起码和对方差了二十年。
这二十年，我们在干嘛？
不是国家不发展，而是没办法。
仔细看看华国的发展，从一开始的百废待兴，到现在为止，几乎让百分之九十的人吃得饱穿得暖，靠的就是国家大力发展经济的原因。
那个时候，我们国家弱小到任何人都敢来欺负，好钢用在刀刃上，华国没办法，只能把所有的经济用来研发武器，因为两弹一星，让我们国家再也不敢随意的被人骑在脑袋上。
可一眼望去，全国人民举目皆穷。
这是一个很现实的问题，当大多数人吃不上饭的时候，又何谈研发什么光刻机呢，研发出来又有什么用呢？
当时，华国面临两个选择，要么牺牲国民水平，投入资金搞基础科研。要么牺牲这个行业，专注提升国民的生活质量。
到现在为止，我们习以为常的衣食住行背后，是科研人员几代人的努力。
我们成功的让我们国家的人民开始能吃上饭，开始富足起来了，人们的文化水平也在提高的现状下，终于，我们把目光再次对准了所谓的光刻机上。
光刻机，通俗点说，就是生产芯片最重要的仪器。
芯片有多重要，就不用多说了。
一枚小小的芯片，让七十年代占据整个房间的大面积电脑，缩小到了现在一只手就能拎起来的主机，未来的智能手机，最重要的零件也是芯片。